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정선호 (S. H. Jeong) 논문수  · 이용수 4,789

소속기관
부산대학교
소속부서
대학원 기계공학부
주요 연구분야
공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%
연구경력
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저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드
#abrasive wear(연삭 마모)
#Atomic force microscopy
#Break-in (브레이크 인)
#Centrifugal pump (원심 펌프)
#Chemical Mechanical Planarization
#Chemical mechanical planarization (화학 기계적 평탄화 공정)
#Chemical mechanical planarization (화학기계적 평탄화)
#Chemical mechanical planarization (화학적 기계적 평탄화)
#chemical mechanical planarization(화학 기계적 평탄화)
#Chemical mechanical polishing
#Chemical mechanical polishing (화학 기계적 연마)
#Chemical mechanical polishing (화학적 기계적 연마)
#CMP
#CMP(화학기계적 연마)
#conditioning simulation(컨디셔닝 시뮬레이션)
#Contact mode (접촉 모드)
#Contact stress
#Contact stress (접촉 응력)
#Correlation
#Cu CMP
#Deep neural network (심층 신경망)
#Device pattern(디바이스 패턴)
#Distribution of asperity height (돌기 높이 분포)
#Dynamic material properties (동적 재료 물성)
#Edge-over-erosion
#Finite element analysis
#Finite element analysis (유한요소해석)
#Gimbal head assembly
#Highest friction heat point (최고 마찰 지점)
#Injection position
#Inner Diameter of Retainer Ring
#IR Sensor
#Machine learning (기계 학습)
#Material removal rate (재료 제거율)
#Material removal rate (재료제거율)
#Mathematical modeling (수학적 모델링)
#Package substrate
#Pad asperity (패드 돌기)
#pad conditioning(패드 컨디셔닝)
#Pad deformation (패드 변형)
#pad profile(패드 프로파일)
#Pad temperature control (패드 온도 제어)
#Pattern geometry (패턴 지형)
#Pattern size
#Pattern size (패턴 크기)
#Planarization modeling (평탄화 모델링)
#Polymer pressure sensor
#Polymer pressure sensor (고분자 압력 센서)
#Real contact area (실 접촉 면적)
#Real wet area (실제 젖은 면적)
#Removal rate
#Silicon carbide
#Size of Particles(입자 크기)
#Slurry
#Slurry additives
#Slurry delivery system (슬러리 공급 시스템)
#Slurry film
#Slurry film thickness (슬러리 막 두께)
#Slurry flow (슬러리 유동)
#Slurry Temperature(슬러리 온도)
#Spray height
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#Spray range
#Spray slurry nozzle (스프레이 슬러리 노즐)
#Surface roughness
#Surface roughness (표면 거칠기)
#Temperature
#Temperature (온도)
#Temperature modeling (온도 모델링)
#Ultrasonic spray
#Ultrasonic spray nozzle (초음파 분사 노즐)
#Uniformity
#Viscoelasticity (점탄성)
#Wafer contact stress
#Wafer Edge Profile
#Wetting area
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