공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Investigation of effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma

Aixian Zhang ,  Moo-Young Lee ,  Ho-Jun Moon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam

박민 ,  정봉기 ,  김태성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

ICP 소스 외벽에 플라즈마가 미치는 온도 분포

김동훈 ,  윤성진 ,  유상문 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma

Deokho Hwang ,  Sanghyeok Pa ,  k 외 7명

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2019 .08

산업공정 플라즈마에서 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향

이효창

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna

김태우 ,  강현주 ,  정진욱

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2017 .08

Inductively Coupled Plasma 장치를 활용한 Ar, Ar/O₂ 방전에서 metastable 아르곤 특성 파악

김환호 ,  천청빈 ,  이해준

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2020 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

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2016 .08

열 전달 효과를 고려한, RF-bias가 인가된 유도결합형 플라즈마 방전 유체 시뮬레이션

최은희 ,  정영도 ,  권득철 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험

박연수 ,  신기원 ,  김우재 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

유도 결합 플라즈마에서 E - H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생

문준현 ,  김경현 ,  이무영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Key issues in the design of innovative RF plasma sources

Hong-Young CHANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of the Characteristics of Radio Frequency Power Transmission Lines Using a Voltage Current Probe in Low-Pressure Discharge

Chan-Won Pa ,  k ,  Hee-Jung Yeom 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .09

Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure

So ,  a Lee ,  Yejin Shon 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma

Ye-Seul LEE ,  Jin-Woo CHOI ,  Tae-Hoon JO 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source

Kwang Ho JANG ,  Bo Ki KIM ,  Jin Joo CHOI 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08