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Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론
대한산업공학회지
2015 .06
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
Wafer Pattern Recognition Using a 3D Image Processing Method in Semiconductor Manufacturing Process
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2023 .05
비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2021 .06
웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화
한국가시화정보학회지
2015 .12
웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지
대한산업공학회지
2018 .08
WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2015 .01
Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
진공 챔버에서 사용되는 이송 로봇의 웨이퍼 슬립 보상을 위한 웨이퍼 슬립 측정 방법
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2023 .06
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
웨이퍼 이송 로봇 고장진단 및 분류에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
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