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유준호 (넥센서) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
615 - 615 (1page)

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변위 및 두께측정기술은 산업생태계에서 공정 및 품질관리를 위해 반드시 요구되는 기반기술로서, 특히 반도체, 디스플레이, PCB, 2차전지 등의 초정밀 제품을 만드는 시장에서는 높은 정밀도의 변위 및 두께 측정기술을 요구하고 있고, 또한, 공정상의 제조장비상에 장착하여 실시간으로 측정하거나, 여러 위치를 동시에 측정하는 기술을 요구하고 있다. 이에, 본 연구에서는 50nm 이하의 반복정밀도를 갖고, 실시간 측정이 가능하며 하나의 제어기에16 개의 프로브를 장착하여 여러 점을 측정할 수 있는 변위/두께 측정 기술을 개발하였다. 측정 원리는 기존에 많이 사용되는 색수차 공초점 원리 대신 분산간섭법을 사용하였고, 이러한 원리를 광섬유 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10582190');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
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유준호 ,  김승우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008 .11

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