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Si Jun Kim (Nanotech Optoelectronics Research Center) Jang Jae Lee (Chungnam National University) Young Seok Lee (Chungnam National University) Chul Hee Cho (Chungnam National University) In Ho Seong (Chungnam National University) Han Sol Choi (Chungnam National University) Jin Ho Lee (Chungnam National University) Won Nyeong Jeong (Chungnam National University) Ha Jeong Choi (Chungnam National University) Ye Bin You (Chungnam National University) Min Su Choi (Chungnam National University) Shin Jae You (Chungnam National University)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
78 - 78 (1page)

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This presentation presented analysis of the electron heating mechanism in capacitively coupled plasma based on particle-in-cell Monte Carlo collision (PIC-MCC) simulation. As discharge current decreases, abrupt reduction of low energy electron population in electron energy probability funct^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548730');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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